一、应用领域:
主流加工对象:2/4/6/8 英寸 C 面蓝宝石衬底(LED 主流),以及A 面、C面光学晶片。
产品也可用于部分金属、玻璃、陶瓷等镜面抛光。
蓝宝石衬底抛光液是蓝宝石单晶(α-Al₂O₃)化学机械抛光(CMP)专用水溶性浆料,是 LED、Mini/Micro-LED、射频半导体、光学窗口制造的核心耗材。蓝宝石硬度高、化学惰性强,单纯机械研磨易产生划伤、亚表面损伤;抛光液依靠化学腐蚀软化与磨料微切削协同作用,把衬底加工至原子级平整、无损伤外延级表面(Epi-ready),直接决定外延芯片发光效率、良率与寿命。
一、应用领域:
主流加工对象:2/4/6/8 英寸 C 面蓝宝石衬底(LED 主流),以及A 面、C面光学晶片。
产品也可用于部分金属、玻璃、陶瓷等镜面抛光。